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電子業/電廠用超純水

12CMH超純水系統(RO+EDI)

半導體製造廠需要高純水(UPW)用於晶圓生產過程,高純水的電阻率要求達到18.2MΩ·cm,幾乎不含任何雜質。本案設計並安裝了一套12 CMH的超純水系統;該系統採用淨水處理工藝,包括預處理、反滲透(RO)和電去離子(EDI),確保產水水質達到10 MΩ·cm以上的高純度標準。
該超純水系統有效去除了水中的離子、有機物和微粒,保證了水質穩定性和生產工藝的可靠性。系統設計合理,運行穩定,滿足了客戶對高純水的嚴格要求,顯著提升了電子產品的生產品質和效率。

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